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一种适用于高纯氯硅烷的充装系统及其充卸料方法

基本信息

申请号 CN201711310529.3 申请日 -
公开（公告）号 CN107893907B 公开（公告）日 2019-11-08
申请公布号 CN107893907B 申请公布日 2019-11-08
分类号 F17C5/06（2006.01）I; F17C13/00（2006.01）I; F17C13/02（2006.01）I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 王姗 申请（专利权）人 成都蜀菱科技发展有限公司
代理机构 成都超凡明远知识产权代理有限公司 代理人 何龙
地址 611400 四川省成都市新津县新津区普兴街道清云南路445号
法律状态 -

摘要

摘要 一种适用于高纯氯硅烷的充装系统及其充卸料方法，其主要涉及物料充装领域。该充装系统通过对常规氮气管线系统与尾气管线系统进行并联连通，对第一高纯氮气管线系统与尾气管线系统进行并联连通，对第二高纯氮气管线系统与卸车管线系统进行并联连通，对装车管线系统与尾气管线系统和卸车管线系统均进行并联连通，实现了对高纯氯硅烷的充卸料和吹扫置换，解决了高纯物料充装、卸车过程面临的物料污染、环境污染、设备腐蚀等问题，取得了保护充装系统设备、防止物料污染和环境污染的技术效果；通过设置PLC控制系统，提高了充装系统的充卸料效率，故上述的充装系统及其充卸料方法表现出了较高的实用价值，具备重要的推广应用价值。