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一种一维气浮光栅扫描测头

基本信息

申请号 CN201510776729.2 申请日 -
公开（公告）号 CN105300283B 公开（公告）日 2016-07-06
申请公布号 CN105300283B 申请公布日 2016-07-06
分类号 G01B11/00(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 丁建军;张吉虎;刘阳鹏;曹靖舒;李兵;蒋庄德;毛丰 申请（专利权）人 西安秦川思源测量仪器有限公司
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 代理人 陆万寿
地址 710049陕西省西安市咸宁西路28号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种一维气浮光栅扫描测头，包括支座、端座以及安装于测针座上的测针；端座由两侧板及前端安装板组成；测针座通过拉紧磁铁、吸片、钢球咬合安装于端座前端安装板的外侧面，端座内安装有气浮轴套，芯轴安装于端座的两侧板之间，气浮轴套与端座的侧板之间安装有测力弹簧；端座前端安装板的内侧面设置光栅尺和读数头。本发明当测针受力时，测针、测针座、端座及芯轴会一起运动，将测针的位置变化量转变为光栅尺读数的变化量，不依赖于自感互感的检测原理，而是依靠机械传动原理以及光栅完成检测，不仅检测灵敏度高而且抗干扰能力强，结构简单，容易实现，可以实现较大范围内测头位置变化量的测量并减小测针挠曲变形带来的测量误差。