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一种CZ直拉法硅单晶棒取棒装置

基本信息

申请号	CN201720737999.7	申请日	-
公开（公告）号	CN206986326U	公开（公告）日	2018-02-09
申请公布号	CN206986326U	申请公布日	2018-02-09
分类号	C30B15/00;C30B29/06	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	马四海;张笑天;马青;朱光开;丁磊	申请（专利权）人	安徽易芯半导体有限公司
代理机构	安徽合肥华信知识产权代理有限公司	代理人	安徽易芯半导体有限公司
地址	230000 安徽省合肥市新站区新蚌埠路3768号佳海工业城一期D84D85幢
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种CZ直拉法硅单晶棒取棒装置，包括有平板小车，平板小车上设置有对应开合的固定支撑基座和活动支撑基座，固定支撑基座和活动支撑基座上分别设有由间隔排列竖直分布的支撑杆和连接横杆组成的固定框，固定框为两半圆形固定框，固定支撑基座与其上方的固定框之间通过其一侧的固定立柱固定安装在平板小车上，活动支撑基座与其上方的固定框之间通过其一侧的转动立柱转动安装在平板小车上，活动支撑基座上的固定框支撑杆上设有扶手，固定支撑基座上的固定框支撑杆上连接有倾斜辅助机构。本实用新型可以方便了单晶硅棒倾斜放置，方便人工取棒，该装置有一半可以转动完全打开，取卸方便，同时针对大直径单晶硅棒设计，提高取棒效率。