一种CZ直拉法硅单晶炉热场石墨三瓣埚取装装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种CZ直拉法硅单晶炉热场石墨三瓣埚取装装置

基本信息

申请号	CN201720738238.3	申请日	-
公开（公告）号	CN206986327U	公开（公告）日	2018-02-09
申请公布号	CN206986327U	申请公布日	2018-02-09
分类号	C30B15/00;C30B29/06	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	马四海;张笑天;马青;朱光开;丁磊	申请（专利权）人	安徽易芯半导体有限公司
代理机构	安徽合肥华信知识产权代理有限公司	代理人	安徽易芯半导体有限公司
地址	230000 安徽省合肥市新站区新蚌埠路3768号佳海工业城一期D84D85幢
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种CZ直拉法硅单晶炉热场石墨三瓣埚取装装置，包括有位于石墨三瓣埚上方的钢板圆盘，钢板圆盘的圆周位置分布有多个支杆，支杆分别位于石墨加热器与石墨三瓣埚之间的空间位置，支杆的底端分别通过转轴转动安装有三瓣埚托手，钢板圆盘的上方设置有与其对应配合的钢丝连接圆盘，钢丝连接圆盘与钢板圆盘的中部通过吊装杆连接，钢丝连接圆盘的圆周位置上分布有与其下方支杆两侧位置对应的钢丝绳，钢丝绳的另一端分别穿过钢板圆盘连接至支杆底端三瓣埚托手两侧转轴的两端。本实用新型极大地节省了人工的劳动力，提高了生产效率，很好的降低了人员手动搬装带来的安全隐患，以及人工搬运较重的大尺寸石墨件造成的磕碰石墨件的风险性。