一种固态装配型薄膜体声波谐振器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202011278679.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112332798A | 公开（公告）日 | 2021-02-05 |
| 申请公布号 | CN112332798A | 申请公布日 | 2021-02-05 |
| 分类号 | H03H9/17(2006.01)I; | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 李国强 | 申请（专利权）人 | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 517001广东省河源市高新技术开发区高新五路、泥金路西边 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种固态装配型薄膜体声波谐振器及其制作方法。该制备方法包括以下步骤：在制备衬底上制作该声波谐振器的薄膜结构层；将制备衬底和其上制作的薄膜结构层一起，以该薄膜结构层的一面固定于支撑衬底上；将制备衬底去除，在薄膜结构层之上沉积顶电极并进行相应的刻蚀；最终形成依次层叠为支撑衬底、布拉格反射层、底电极、压电膜、顶电极和负载层的结构。采用该方法制备得到的固态装配型薄膜体声波谐振器，克服了常规工艺中无法制备出高质量单晶压电薄膜材料的限制，使该谐振器具备更好的性能。 |
