基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器
基本信息
| 申请号 | CN202020457212.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212163295U | 公开（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申请公布号 | CN212163295U | 申请公布日 | 2020-12-15 |
| 分类号 | H03H9/17(2006.01)I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 李国强 | 申请（专利权）人 | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州凯东知识产权代理有限公司 | 代理人 | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 地址 | 517000广东省河源市高新技术开发区兴业大道东边、高新一路创业服务中心三楼317室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器，通过对电极形状、电极尺寸、压电材料取材、厚度等方面的优化设计，减小了横波寄生模式的影响，使得谐振器仅工作在剪切波模式下，提高了谐振器的品质因数；在双抛高阻硅片的一个表面先后沉积保护层、牺牲层材料，再将衬底化学机械抛光；通过离子注入与晶圆键合的方法，将铌酸锂薄膜转移到该抛光的衬底上面，然后利用剥离工艺在铌酸锂薄膜表面溅射金属叉指电极；最后利用干法刻蚀或者湿法腐蚀的办法去掉牺牲层；随后将这一面保护起来，在另一面重复之前的生长，除去保护层后获得成品器件；进而提高了谐振器的机械强度与可靠性，可适用于谐振器的大规模制造。 |
