一种用于制造硅基异质结电池的工装
基本信息
| 申请号 | CN201821170004.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208767322U | 公开（公告）日 | 2019-04-19 |
| 申请公布号 | CN208767322U | 申请公布日 | 2019-04-19 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I; H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 沙明星 | 申请（专利权）人 | 东腾投资集团有限公司 |
| 代理机构 | 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 东腾投资集团有限公司 |
| 地址 | 100012 北京市朝阳区红军营南路15号院1号楼-2至12层101内10层1002A室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种用于制造硅基异质结电池的工装，用于夹持硅片，包括上下设置的上盖和托盘，所述托盘上设置有用于固定硅片的安装槽；所述上盖与托盘之间设置有限位机构，所述限位机构设置在所述安装槽的边沿，用于水平限位硅片。本申请涉及硅基异质结电池的制造设备，提供了一种用于制造硅基异质结电池的工装，能够避免由于硅片在工装中移动而造成的镀膜失败问题，保证了稳定镀膜和硅片的边缘处绝缘，无需其他化学清洗。 |
