一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构
基本信息
| 申请号 | CN201910789300.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110398521A | 公开（公告）日 | 2019-11-01 |
| 申请公布号 | CN110398521A | 申请公布日 | 2019-11-01 |
| 分类号 | G01N27/12（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 郭德明; 王磊; 梁保权; 罗玉军; 聂元建; 庞邦舜; 李春; 陈丝雨; 张文文; 胡明雪 | 申请（专利权）人 | 广西玉柴机器集团有限公司 |
| 代理机构 | 广州海心联合专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 广西玉柴机器集团有限公司; 广西优艾斯提传感技术有限公司 |
| 地址 | 537000 广西壮族自治区玉林市玉柴新城玉柴大道西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，属于氮氧传感器技术领域，主要解决的是现有氮氧传感器灵敏度低、应用范围有限的技术问题，所述传感器结构包括衬底，所述衬底设有至少一个凹陷槽，各所述凹陷槽上方设有横跨其两侧的氮氧敏感单元，所述氮氧敏感单元的两端连接所述衬底顶部。本发明可以使氮氧敏感单元与氮氧气体360°全向接触，极大提高了传感器的灵敏度，同时由于氮氧敏感单元与凹陷槽不接触，衬底与氮氧敏感单元的接触面积小，发热面积小，可以达到降低热功耗的目的。 |
