静电防护装置及其芯片

基本信息

申请号 CN201210546072.7 申请日 -
公开(公告)号 CN103035624B 公开(公告)日 2016-08-03
申请公布号 CN103035624B 申请公布日 2016-08-03
分类号 H01L23/60(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 叶兆屏;胥小平;朱志牛;沓世我;张富启 申请(专利权)人 广东风华芯电科技股份有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 广东风华芯电科技股份有限公司;广东风华高新科技股份有限公司
地址 510000 广东省广州市萝岗区科学城南翔二路10号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种静电防护装置及使用该静电防护装置的芯片。该静电防护装置包括衬底、形成于衬底上的提供静电放电电路的静电防护元件及形成于静电防护元件上的焊盘。静电防护元件包括至少一个电阻或电容,静电防护元件与焊盘之间形成多晶硅层,焊盘与多晶硅层之间形成介质层。静电防护元件的至少一个电阻或电容由多晶硅层、介质层及焊盘提供。该静电防护装置采用多晶硅层、介质层及焊盘之间形成的电容与电阻来作为该静电防护装置需要的电容与电阻,从而减小了该静电防护装置所占用的面积,节省了成本。