上芯机及其工件台
基本信息
| 申请号 | CN201310407812.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103474375B | 公开（公告）日 | 2016-07-06 |
| 申请公布号 | CN103474375B | 申请公布日 | 2016-07-06 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 晏承亮;李莉;王利萍;胡伍妹;钟小刚;颜学优;黄钟坚;蒋伟雄 | 申请（专利权）人 | 广东风华芯电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 广东风华芯电科技股份有限公司;广东风华高新科技股份有限公司 |
| 地址 | 510000 广东省广州市萝岗区科学城南翔二路10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种工件台包括底座、轨道底板及压板；所述底座上开设有长条状的导槽，所述导槽为U形槽；所述轨道底板由黑色工程陶瓷材料制成，所述轨道底板设置于所述导槽的底壁；所述压板固定于所述导槽开口处，并位于所述轨道底板上方。同时还提供了一种使用上述工件台的上芯机。上述上芯机及其工件台中采用黑色工程陶瓷材料制成的轨道底板，轨道底板在反复使用中不会出现变白的现象，提高了芯片拾取以及打线时图像的光学识别的精确性，提高了生产的精度。同时无需将轨道底板取下进行加黑处理，提高了生产效率，降低了成本。 |
