一种修复PERC太阳能电池背膜激光开槽损伤的方法
基本信息
| 申请号 | CN201910982137.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110739366B | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN110739366B | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L31/068 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 沈永臻;楼秀群;徐义兰;林纲正;陈刚 | 申请（专利权）人 | 兴业银行股份有限公司义乌分行 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 胡枫;李素兰 |
| 地址 | 322009 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种修复PERC太阳能电池背膜激光开槽损伤的方法，其在背面开槽之后，将硅片置入热处理设备，所述热处理设备包括高温激活区和低温修复区，所述硅片在高温激活区内进行高温热退火处理，以增加硅基底的整体晶格热运动；然后在低温修复区内进行低温热退火处理，以使硅基底重结晶。基底硅在经过高温激活‑低温重结晶的过程后使得基底硅激光损伤区得到明显的修复，从而减少由于激光损伤造成的复合损失，增加了开路电压Voc，进而提高PERC太阳能电池的转换效率。 |
