一种钛管表面种植金刚石微晶的方法
基本信息
申请号 | CN201610554633.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN106011776B | 公开(公告)日 | 2018-09-21 |
申请公布号 | CN106011776B | 申请公布日 | 2018-09-21 |
分类号 | C23C16/02;C23C16/27;C02F1/461 | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 潘凡峰 | 申请(专利权)人 | 上海开山中夏节能环保科技有限公司 |
代理机构 | 上海容慧专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 上海开山中夏节能科技有限公司 |
地址 | 201102 上海市闵行区平阳路258号一层J1177室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种钛管表面种植金刚石微晶的方法。CVD法是制备金刚石电极的通用方法,制备出大面积金刚石电极的关键是基材表面种植均匀的、结合力强的金刚石微晶,成为CVD工艺中的晶种。本发明的方法是利用基材钛与金刚石不同的热膨胀系数,在600~800℃的高温下,用机械研磨法种植金刚石微晶。 |
