在刻蚀铁镍合金平板荫罩中控制三氯化铁刻蚀液的方法
基本信息
| 申请号 | CN00137061.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN1172024C | 公开（公告）日 | 2004-10-20 |
| 申请公布号 | CN1172024C | 申请公布日 | 2004-10-20 |
| 分类号 | C23F1/28 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吴志文;朱敏荣 | 申请（专利权）人 | 上海新芝电子有限公司 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 顾敏 |
| 地址 | 200233上海市钦江路288号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明披露了一种在刻蚀铁镍合金平板荫罩中控制三氯化铁刻蚀液的方法，该方法包括保持FeCl3刻蚀液的温度为60-70℃；保持FeCl3刻蚀液的比重为1.470-1.490；以50-120千克/小时的速度往刻蚀液中通入氯气，将Fe2+的含量控制为占Fe2+和Fe3+总重量的4.50-10.00％；在刻蚀液中加入盐酸溶液，使HCl的含量占刻蚀液总重量的0.200-0.600％；保持Ni2+的含量占刻蚀液总重量的0-3.00％。由该方法可以在保证平板荫罩刻蚀质量的前提下提高铁镍合金平板荫罩的刻蚀速度，提高对三氯化铁刻蚀液中Ni2+含量分析的准确性。 |
