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含镍三氯化铁蚀刻废液的再生方法

基本信息

申请号	CN200310120087.8	申请日	-
公开（公告）号	CN1540036A	公开（公告）日	2004-10-27
申请公布号	CN1540036A	申请公布日	2004-10-27
分类号	C23F1/46	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	李华;李文焕;蔡体伟	申请（专利权）人	上海新芝电子有限公司
代理机构	上海申汇专利代理有限公司	代理人	吴宝根
地址	200040上海市漕河泾开发区钦江路288号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种含镍三氯化铁蚀刻废液的再生方法，包括如下步骤：(a)废液浓缩：在一定压力温度条件下使含镍三氯化铁蚀刻废液的原液浓缩到初始体积的70％～80％；(b)冷却结晶：将上述浓缩后的含镍三氯化铁蚀刻废液冷却至40℃～45℃，然后向其中添加1.5倍～2倍体积的含镍三氯化铁蚀刻废液原液，并将该混合溶液的温度控制在≤17℃冷却结晶24小时～60小时，得到含有微量镍的FeCl₃·6H₂O晶体；(c)固液分离：将上述FeCl₃·6H₂O晶体从母液中分离；经过上述步骤得到的FeCl₃·6H₂O晶体按照蚀刻液工艺要求添加一定量的水即可重新调配成三氯化铁蚀刻液。该方法生产成本低、操作简单，是一种环保经济型处理含镍三氯化铁蚀刻废液的方法。