一种智能气体压力传感器

基本信息

申请号 CN201821616030.5 申请日 -
公开(公告)号 CN209014192U 公开(公告)日 2019-06-21
申请公布号 CN209014192U 申请公布日 2019-06-21
分类号 G01L19/02(2006.01)I; G01L27/00(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 方果; 杨格; 王海峰; 毛伯付; 高仁杰; 尹定红 申请(专利权)人 深圳电通纬创微电子股份有限公司
代理机构 深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 代理人 深圳电通纬创微电子股份有限公司
地址 518000 广东省深圳市龙岗区平湖街道力昌社区平龙东路349号2#厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种智能气体压力传感器包括电路板、传感器膜片、压力检测气路和通气气路,所述传感器膜片设置在电路板上,所述通气气路和压力检测气路分别作用于传感器膜片的正背二面,所述压力检测气路上设有三通阀,靠近压力检测气路进气端的为三通阀的第一端,远离压力检测气路进气端的为三通阀的第二端,三通阀的第三端与通气气路连接,所述三通阀与电路板电连接,具有二个工作状态,一是关闭三通阀的第一端,并使第二端与第三端连通,二是关闭三通阀的第三端,并使第一端与第二端连通。本实用新型增加了三通阀,实现了气体压力传感器自动校零,从而避免零点误差累计,解决气体压力传感器零点漂移的问题。