一种尾气排放结构和还原炉

基本信息

申请号 CN202110661114.0 申请日 -
公开(公告)号 CN113213484A 公开(公告)日 2021-08-06
申请公布号 CN113213484A 申请公布日 2021-08-06
分类号 C01B33/035(2006.01)I;F27D17/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 冯留建;吴万里;王文;张霞飞;范协诚;银波;董越杰 申请(专利权)人 新疆硅基新材料创新中心有限公司
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人 胡影;李红标
地址 831500新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市甘泉堡经济技术开发区(工业园)众欣街2249号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种尾气排放结构和还原炉,尾气排放结构包括:连接体,连接体上设有环形孔,环形孔具有第一开口与第二开口;多个尾气支管的第一端与环形孔的第一开口连通;多个尾气支管的第二端与汇集管连通;尾气母管的一端与汇集管连通。将尾气排放结构应用于还原炉,连接体的第二开口与还原炉底部的排气孔连通,还原炉中的尾气通过排气孔进入环形孔,通过环形孔对尾气进行平衡,环形孔中的气体通过尾气支管进入汇集管,不同尾气支管中的气体流量可以在汇集管进行平衡,然后汇集管中的气体通过尾气母管排出,连接体的高换热面积和汇集管的流量平衡作用,降低了尾气支管内的结硅情况和硅渣清理频次,使得还原炉内的压力、流场、温度场稳定。