一种尾气排放结构和还原炉
基本信息
申请号 | CN202110661114.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113213484A | 公开(公告)日 | 2021-08-06 |
申请公布号 | CN113213484A | 申请公布日 | 2021-08-06 |
分类号 | C01B33/035(2006.01)I;F27D17/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
发明人 | 冯留建;吴万里;王文;张霞飞;范协诚;银波;董越杰 | 申请(专利权)人 | 新疆硅基新材料创新中心有限公司 |
代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 胡影;李红标 |
地址 | 831500新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市甘泉堡经济技术开发区(工业园)众欣街2249号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请公开了一种尾气排放结构和还原炉,尾气排放结构包括:连接体,连接体上设有环形孔,环形孔具有第一开口与第二开口;多个尾气支管的第一端与环形孔的第一开口连通;多个尾气支管的第二端与汇集管连通;尾气母管的一端与汇集管连通。将尾气排放结构应用于还原炉,连接体的第二开口与还原炉底部的排气孔连通,还原炉中的尾气通过排气孔进入环形孔,通过环形孔对尾气进行平衡,环形孔中的气体通过尾气支管进入汇集管,不同尾气支管中的气体流量可以在汇集管进行平衡,然后汇集管中的气体通过尾气母管排出,连接体的高换热面积和汇集管的流量平衡作用,降低了尾气支管内的结硅情况和硅渣清理频次,使得还原炉内的压力、流场、温度场稳定。 |
