一种晶振模块、蒸镀系统、及其蒸镀方法
基本信息
| 申请号 | CN202110455247.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113621932A | 公开（公告）日 | 2021-11-09 |
| 申请公布号 | CN113621932A | 申请公布日 | 2021-11-09 |
| 分类号 | C23C14/54（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 茆胜 | 申请（专利权）人 | 睿馨（珠海）投资发展有限公司 |
| 代理机构 | 上海洞鉴知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘少伟 |
| 地址 | 519000广东省珠海市横琴新区宝华路6号105室-32897（集中办公区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种晶振模块、蒸镀系统、及其蒸镀方法，其中，晶振模块包括：晶振探头，以及移动组件，所述晶振探头安装在所述移动组件上，所述移动组件在水平或竖直方向上往复移动，并带动所述晶振探头远离或靠近蒸发源。有益效果是：对于材料沉积速率较大的情况，由于晶振探头到坩埚出口的距离增大，沉积到晶振探头上的材料减少，有效延长了晶振探头的使用时间，减少了更换晶振探头的频率，能降低生产成本并提高生产效率；对于材料沉积速率较小的情况，由于晶振探头到坩埚出口的距离缩小，沉积到晶振探头上的材料增加，有效提升了晶振探头的测量精度，能提高工艺控制精度和工艺稳定性，从而提高产品性能及良率。 |
