一种梯度膜层的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110455121.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113512700A | 公开（公告）日 | 2021-10-19 |
| 申请公布号 | CN113512700A | 申请公布日 | 2021-10-19 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 茆胜 | 申请（专利权）人 | 睿馨（珠海）投资发展有限公司 |
| 代理机构 | 上海洞鉴知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘少伟 |
| 地址 | 519000广东省珠海市横琴新区宝华路6号105室-32897（集中办公区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种梯度膜层的制备方法，包括以下步骤：将基板置于蒸发源的上方，并保持静止状态；所述蒸发源位于所述基板的下方，且在竖直方向上，所述蒸发源的中心处与所述基板的中心相对应；启动蒸发直至完成蒸镀工艺，即得具有梯度膜层的器件。有益效果是：通过对某一膜层采用基板静止进行蒸镀的方法，可在基板上一次性得到一系列所述膜层厚度、掺杂率不同的器件，极大的提升了技术研究、器件开发、工艺优化的工作效率；使用本发明的方法在同一基板上得到的多个器件，除去梯度膜层外，其他膜层的特性完全一致，有利于横向比较特定膜层的差异对器件带来的影响。 |
