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一种基于CuAlO

基本信息

申请号 CN202010574078.X 申请日 -
公开（公告）号 CN111668326A 公开（公告）日 2020-09-15
申请公布号 CN111668326A 申请公布日 2020-09-15
分类号 H01L31/0336(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 胡继超;李丹丹 申请（专利权）人 三立智能电气有限公司
代理机构 西安弘理专利事务所 代理人 西安润维信息技术有限公司
地址 710000陕西省西安市高新区锦业路125号半导体产业园A栋11楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种CuAlO2/SiC紫外光电二极管，包括顶电极和底电极，两电极之间由顶电极向底电极方向依次设置有P型晶体CuAlO2薄膜、I型SiC薄膜和N型SiC衬底，本发明还公开了一种CuAlO2/SiC紫外光电二极管的制备方法，首先对N型SiC衬底进行清洗，清洗后吹干待用；在清洗后的N型SiC衬底上进行本征SiC同质外延层生长；在本征SiC同质外延层上进行P型晶体CuAlO2异质外延层生长；在P型晶体CuAlO2异质外延层上制作顶电极；对N型SiC衬底下表面制作底电极，最终形成CuAlO2/SiC紫外光电二极管，本发明具有良好的光电响应，稳定性好，反应灵敏，加工工艺重复性好。