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PERC太阳能电池的镀膜方法

基本信息

申请号 CN202010103879.8 申请日 -
公开（公告）号 CN111326604A 公开（公告）日 2020-06-23
申请公布号 CN111326604A 申请公布日 2020-06-23
分类号 H01L31/18(2006.01)I 分类 -
发明人 吴娟;梁杭伟;鲍亚平;李家兰 申请（专利权）人 东莞南玻光伏科技有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 东莞南玻光伏科技有限公司
地址 523141广东省东莞市麻涌镇南玻绿色能源产业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种PERC太阳能电池的镀膜方法，包括：对石墨舟进行预处理；将装载有硅片的预处理后的石墨舟置于PECVD炉管内，使用PECVD炉管对硅片背离石墨舟壁的一面沉积复合膜，硅片通过卡点固定在所述石墨舟上；其中，预处理的步骤包括在石墨舟表面形成碳化硅膜，以及在碳化硅膜表面形成氮化硅膜。本发明对硅片背面镀膜前先在石墨舟表面形成碳化硅膜、在碳化硅膜表面形成氮化硅膜，该碳化硅膜使得石墨舟壁表面具有较好的平坦度，能够使得在硅片背面镀氮化硅膜的步骤中形成的氮化硅膜均匀成膜。并且石墨舟表面镀上氮化硅膜后，能够缓解在硅片背面镀氮化硅膜的步骤中氮化硅镀到石墨舟和卡点上导致的硅片边角和卡点处出现的色差。