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可改善EL弧形黑斑的PERC电池的镀膜方法及PERC电池

基本信息

申请号 CN202010864462.3 申请日 -
公开（公告）号 CN111969079A 公开（公告）日 2020-11-20
申请公布号 CN111969079A 申请公布日 2020-11-20
分类号 H01L31/18;H01L31/0216;C23C16/40;C23C16/52 分类 基本电气元件;
发明人 吴娟;梁杭伟;鲍亚平;吴含封;杨健 申请（专利权）人 东莞南玻光伏科技有限公司
代理机构 深圳市精英专利事务所 代理人 中国南玻集团股份有限公司;东莞南玻光伏科技有限公司
地址 523000 广东省东莞市麻涌镇新基村
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了可改善EL弧形黑斑的PERC电池的镀膜方法及PERC电池，镀膜方法包括：将PERC半成品插入背钝化石墨舟中，并送入PECVD设备中；在所述PERC半成品上沉积AlOx薄膜；其中，沉积AlOx薄膜的工艺参数如下：PECVD设备炉管内的温度为260～320℃，压力为1500‑1700mTorr，TMA释放量为75～90％，N2O流量为3.0‑5.0slm，沉积时间为60～80s。本发明通过优化TMA释放量、N2O流量、沉积时间、沉积压力和炉管温度等参数，大大降低了PERC电池制造过程中出现的EL弧形黑斑的比例，提高了产品良率。