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一种用于气体流量测量的同相平面压电阵列结构

基本信息

申请号 CN202120223895.0 申请日 -
公开（公告）号 CN213932677U 公开（公告）日 2021-08-10
申请公布号 CN213932677U 申请公布日 2021-08-10
分类号 G01F1/66 分类 测量；测试;
发明人 刘立国;徐良才;于洋;李保阳 申请（专利权）人 青岛积成电子股份有限公司
代理机构 济南舜源专利事务所有限公司 代理人 苗峻;孙亚琳
地址 266071 山东省青岛市市南区宁夏路288号青岛软件园3号楼601室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于气体流量测量的同相平面压电阵列结构。其包括压电本体，其特征是：所述压电本体的截面为圆形或矩形，所述压电本体被多条平行的横向缝和多条平行的纵向缝分割成M*N个阵列的柱状的压电阵元，所述压电本体的上表面设置有公共电极板A与每个所述压电阵元连接，所述压电本体的下表面设置有公共电极板B。本实用新型通过将压电本体分割成M*N个压电阵元，采用同相平面阵列，可以在二维压电平面内的两个正交坐标分别与压电平面法向所构成的两个平面内的声束都得以聚集，可有效地提高发射信号的辐射强度和接收信号的灵敏度，有利于流量测量精度的提高。