热式气体质量流量计

基本信息

申请号 CN201510690884.2 申请日 -
公开(公告)号 CN105203167B 公开(公告)日 2018-10-12
申请公布号 CN105203167B 申请公布日 2018-10-12
分类号 G01F1/68;G01F1/696 分类 测量;测试;
发明人 于杰;李莹;曲首名;刘海军;陈世云 申请(专利权)人 山东贝特智联表计股份有限公司
代理机构 北京怡丰知识产权代理有限公司 代理人 山东贝特智联表计股份有限公司
地址 264209 山东省威海市高区火炬路219号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种热式气体质量流量计,其解决了现有热式气体质量流量计响应速度慢、量程比小、反应时间长、精度低的技术问题,其包括测量杆,测量杆上设有传感器,传感器包括衬底,衬底上设有长方形测温薄膜和L形加热薄膜,长方形测温薄膜位于L形加热薄膜的内侧;衬底上除长方形测温薄膜和L形加热薄膜的其它位置设有隔热层,其可广泛应用于流量测量技术领域。