热式气体质量流量计
基本信息
申请号 | CN201510690884.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN105203167B | 公开(公告)日 | 2018-10-12 |
申请公布号 | CN105203167B | 申请公布日 | 2018-10-12 |
分类号 | G01F1/68;G01F1/696 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 于杰;李莹;曲首名;刘海军;陈世云 | 申请(专利权)人 | 山东贝特智联表计股份有限公司 |
代理机构 | 北京怡丰知识产权代理有限公司 | 代理人 | 山东贝特智联表计股份有限公司 |
地址 | 264209 山东省威海市高区火炬路219号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种热式气体质量流量计,其解决了现有热式气体质量流量计响应速度慢、量程比小、反应时间长、精度低的技术问题,其包括测量杆,测量杆上设有传感器,传感器包括衬底,衬底上设有长方形测温薄膜和L形加热薄膜,长方形测温薄膜位于L形加热薄膜的内侧;衬底上除长方形测温薄膜和L形加热薄膜的其它位置设有隔热层,其可广泛应用于流量测量技术领域。 |
