一种用于大尺寸单晶硅棒的导流筒
基本信息
| 申请号 | CN202121024183.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215560795U | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN215560795U | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | C30B15/16（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 杨昊;黄怀玉;唐碧见;刘雅旭 | 申请（专利权）人 | 弘元新材料（包头）有限公司 |
| 代理机构 | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张燕平 |
| 地址 | 014030内蒙古自治区包头市青山区装备制造产业园区管委会A座516室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于大尺寸单晶硅棒的导流筒，包括：单晶炉，作用于大尺寸单晶硅棒的拉制加工，所述单晶炉的内部贯穿有中部导流筒，并所述中部导流筒的上部与所述单晶炉凹凸卡合；外部导流筒，安装在所述中部导流筒的外侧，并下方呈倾斜状分布的所述中部导流筒和下方呈倾斜状分布的所述外部导流筒之间填充有保温毡；下部支撑环，安装在所述外部导流筒的下端，并呈倾斜状分布的下部支撑环的端部与所述中部导流筒的下端相互连接。该用于大尺寸单晶硅棒的导流筒，导流筒保温石墨软毡使用导热系数更低的气凝胶保温毡替换，从而提高导流筒的整体保温性能，优化生长界面径向温度均匀性的同时增大热场纵向温度。 |
