一种设有限位结构的大尺寸硅单晶收尾用坩埚支撑架

基本信息

申请号 CN202121024205.5 申请日 -
公开(公告)号 CN215560806U 公开(公告)日 2022-01-18
申请公布号 CN215560806U 申请公布日 2022-01-18
分类号 C30B29/06(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 杨昊;付春旭;李国东;马国财 申请(专利权)人 弘元新材料(包头)有限公司
代理机构 北京睿博行远知识产权代理有限公司 代理人 张燕平
地址 014030内蒙古自治区包头市青山区装备制造产业园区管委会A座516室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种设有限位结构的大尺寸硅单晶收尾用坩埚支撑架,包括:工作台,安装在支撑底座的正上方,所述工作台的上端中部固定连接有托举块,且工作台的下端边侧通过螺栓固定连接有导向块,所述导向块和支撑底座之间通过2组减震机构相互连接;中心螺杆,其通过轴承贯穿安装在所述工作台的中部;滑轮横杆,安装在挤压竖杆的上端内侧,所述夹持块和防护罩之间通过提供复位弹力的内置弹簧相连接,且夹持块的内侧固定连接有提高摩擦力的接触凸点,所述防护罩的下端固定安装在工作台的上方。该设有限位结构的大尺寸硅单晶收尾用坩埚支撑架,能够简化对坩埚固定时的操作,提高对坩埚固定时的工作效率。