一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置
基本信息
| 申请号 | CN202121012097.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215560786U | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN215560786U | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 杨昊;唐碧见;黄怀玉;刘雅旭 | 申请（专利权）人 | 弘元新材料（包头）有限公司 |
| 代理机构 | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张燕平 |
| 地址 | 014030内蒙古自治区包头市青山区装备制造产业园区管委会A座516室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置，包括：基座，其水平设置于厂房内部，且所述基座的上端一侧安装有固定座，并且所述固定座的内部左侧安装有循环冷却水箱；通管，其固定安装于所述基座的内部，且所述通管的上端与所述水泵的一端相互连接；冷凝管，其连接于所述通管的一端，且所述冷凝管螺旋缠绕在单晶炉本体的外侧；流通室，其开设于所述基座的上端一侧，且所述流通室的上端左右两侧分别安装有单向流入阀和单向流出阀；第一连杆，其轴连接于所述基座的中部一侧。该大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置，可减少冷凝管在使用时的消耗，增强冷却效果，同时可对氩气的流量进行控制，避免浪费。 |
