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高精度隧道式加速度计及其制备方法

基本信息

申请号 CN200310122478.3 申请日 -
公开（公告）号 CN100356177C 公开（公告）日 2007-12-19
申请公布号 CN100356177C 申请公布日 2007-12-19
分类号 G01P15/08(2006.01) 分类 测量；测试;
发明人 董海峰;贾玉斌;郝一龙 申请（专利权）人 北京国海嘉兴联合科技有限公司
代理机构 北京君尚知识产权代理事务所 代理人 北京大学
地址 100871北京市海淀区颐和园路5号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种高精度隧道加速度计结构及其制备方法。该隧道加速度计隧尖为圆锥型，支撑梁厚度小于质量块厚度。其制备方法依次包括以下步骤：在硅片上刻蚀浅槽，定出隧尖与对应电极的初始间距；继续刻蚀制备隧尖，并在隧尖上淀积金属作为隧道电流发射电极；在玻璃衬底上制备驱动电极和隧尖对应电极；阳极键合，实现玻璃衬底和硅片的对准和粘合；干法深槽刻蚀工艺刻蚀硅片背面，生成支撑梁；继续刻蚀硅片背面生成质量块，释放结构即得隧道加速度计。本发明的隧道加速度计，支撑梁厚度小于质量块厚度，提高了灵敏度。制备方法采用常规MEMS工艺，支撑梁和质量块通过干法深刻蚀得到，避免了湿法释放引起的粘附、隧尖污染和常规的浓硼扩散。