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一种新型PECVD等离子设备智能药水配比系统

基本信息

申请号	CN201920897168.5	申请日	-
公开（公告）号	CN210287521U	公开（公告）日	2020-04-10
申请公布号	CN210287521U	申请公布日	2020-04-10
分类号	C23C16/50;C23C16/455	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	杨福年;郑锡文	申请（专利权）人	东莞市和域战士纳米科技有限公司
代理机构	东莞市启信展华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	冯蓉
地址	518000 广东省深圳市龙华区龙华街道清华社区龙观东路43号力劲厂2栋2层
法律状态	-

摘要

本实用新型公开一种新型PECVD等离子设备智能药水配比系统，包括一个PECVD等离子设备真空仓体、两个第一药水蒸发罐、一个第二药水蒸发罐、一真空泵组，在PECVD等离子设备真空仓体的外周配设了多个药水蒸发罐，这些药水蒸发罐通过各自对应的多个接口与PECVD等离子设备真空仓体相连，且这些接口在PECVD等离子设备真空仓体上是均匀分布的，从而使得多种药水蒸发罐蒸发出的等离子气体在PECVD等离子设备真空仓体上均匀分布。同时，还配设有真空泵组，真空泵组与PECVD等离子设备真空仓体的两个以上的第三接口相接，相对于传统只有一个接口，两个以上的第三接口使得抽真空更为快速，再配置真空角阀和碟阀，用于与控制中心连接，实现智能控制。