一种电浆辅助化学气相沉积设备
基本信息
| 申请号 | CN201821883596.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209144260U | 公开（公告）日 | 2019-07-23 |
| 申请公布号 | CN209144260U | 申请公布日 | 2019-07-23 |
| 分类号 | C23C16/44 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 杨福年;郑锡文 | 申请（专利权）人 | 东莞市和域战士纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市智圈知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 东莞市和域战士纳米科技有限公司 |
| 地址 | 523000 广东省东莞市塘厦镇宏业北路99A16号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种电浆辅助化学气相沉积设备，包括外腔，所述外腔内部设有内腔，所述内腔顶部固定连接有电浆板，所述内腔底部设有基板且基板底部通过电动伸缩杆与内腔连接，所述外腔表面设有气压测量仪和报警器且气压测量仪位于报警器一侧，所述气压测量仪与报警器电信连接，所述外腔表面下部设有角度测量仪。本实用新型通过调节基板底部两侧的电动伸缩杆的长短，可对基板的角度改变，方便将基板表面的物质更好的粘接在电浆板表面，避免物体浪费，气压测量仪能对内腔中的气压检测，当内腔中的气压过高时，报警器会发出声音，方便及时连接，避免内腔中因气压过大导致爆炸，保证设备使用的安全性。 |
