多功能卷绕镀膜机

基本信息

申请号 CN03273145.0 申请日 -
公开(公告)号 CN2635678Y 公开(公告)日 2004-08-25
申请公布号 CN2635678Y 申请公布日 2004-08-25
分类号 C23C14/56 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 盛钢;胡显奇 申请(专利权)人 深圳市坦达尼真空表面技术有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518053广东省深圳市南山区华侨城东部工业区E5栋5楼
法律状态 -

摘要

摘要 一种对柔性卷材的正、反两面连续进行喷镀的多功能卷绕镀膜机,它是一种呈“拱形门”结构的真空箱体,在箱体的下部设置有收卷室和放卷室,拱形箱体内部分为三个相互独立的真空镀膜室并于收、放卷室贯通。在真空镀膜室中轴线位置上设有辊轴传导系统及张力传感器,真空镀膜室内对称设置有镀膜靶。本实用新型采用物理气相沉积技术。在真空箱体内的柔性卷材经过辊轴传导系统及张力传感器的张力调节,通过镀膜靶喷射的靶材粒子沉积,对柔性卷材正、反两面同时进行双面镀膜。该卷绕镀膜机可以使用不同成分的靶材,制备出单一薄膜或多种多层功能的混合薄膜,可广泛用于有机泡沫等柔性卷材表面制备的导电薄膜、金属化织物多种功能性薄膜。