对准系统的监控和数据的筛选方法
基本信息
| 申请号 | CN202110134784.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112885731A | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN112885731A | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | H01L21/66;H01L21/68;H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 马恩泽;韦亚一;张利斌 | 申请（专利权）人 | 南京诚芯集成电路技术研究院有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏博知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈婧 |
| 地址 | 211899 江苏省南京市浦口区江浦街道浦滨路320号科创一号大厦B座21楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种对准系统的监控和数据的筛选方法，通过对单片晶圆进行标记，并进行量测，得到第一量测数据；依据得到的第一量测数据进行平均值和标准差值的计算；利用第一量测数据利用得到的平均值和标准差值进行范围界定，并将超出平均值+多倍标准差值的数据进行筛除，利用剩余的数据进行网格拟合；依照上述单片晶圆的量测步骤及量测结果，量测每个Lot层面中的每片晶圆上的标记，得到第二量测数据；根据获得的每个Lot层面中的每片晶圆上的第二量测数据，对每一片晶圆的对准量测结果进行对应的操作分析处理，完成对准的拟合以及对套刻误差量测片数序号的预判。以此提升晶圆的对准效果，以及减小套刻误差量测对最终后续的对准结果的影响。 |
