一种气态污染物一体净化装置

基本信息

申请号 CN202110445073.1 申请日 -
公开(公告)号 CN113289453A 公开(公告)日 2021-08-24
申请公布号 CN113289453A 申请公布日 2021-08-24
分类号 B01D53/04;B01D53/86;B01D53/72;B01D46/00;A61L9/00 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 吴水田;夏群艳;黄文 申请(专利权)人 深圳市华净科技有限公司
代理机构 北京维正专利代理有限公司 代理人 黄勇;任志龙
地址 518000 广东省深圳市宝安区新安街道兴东社区67区隆昌路2号甲岸科技园1号厂房603
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及空气净化技术领域,尤其是一种气态污染物一体净化装置。一种气态污染物一体净化装置,包括净化箱体,净化箱体内从下至上形成有相互连通的进风空腔、初效过滤空腔、第一气态污染物处理空腔、风机安装空腔、第二气态污染物处理空腔、高效过滤空腔和出风空腔,进风空腔内填充有初效过滤网;第一气态污染物处理空腔和第二气态污染物处理空腔内皆填充有气态污染物净化模块;风机安装空腔内可拆卸连接有风机;高效过滤空腔内填充有组合式过滤件;净化箱体连通有用于清理气态污染物净化模块的清理装置。本申请可有效延长气态污染物净化模块的维护周期,降低气态污染物净化模块的维护频率,从而改善半导体的整体生产效率。