MEMS振镜及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202111017550.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113448080A | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN113448080A | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | G02B26/08（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 王子栋;程传同 | 申请（专利权）人 | 北京中科海芯科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京鼎承知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王铭珠;柯宏达 |
| 地址 | 100089北京市海淀区西三旗建材城内3幢二层258号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开提供了一种MEMS振镜及其制作方法。MEMS振镜包括：振镜部、外框、连接于振镜部与外框之间的转轴部，以及，疏水膜。其中，疏水膜至少包覆于转轴部的外表面。所述方法包括：提供基底层；在基底层中形成MEMS振镜的振镜部、外框以及连接于振镜部与外框之间的转轴部；至少在转轴部的外表面形成疏水膜。本公开一些实施例提供的MEMS振镜具有良好的抗疲劳性。 |
