一种原子层沉积批量生产设备
基本信息
| 申请号 | CN201910036498.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109518165A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN109518165A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | C23C16/455 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 郑锦;王新朋;刘兵武 | 申请（专利权）人 | 南京原磊纳米材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京华仲龙腾专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李静 |
| 地址 | 211800 江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢305 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种原子层沉积批量生产设备，涉及原子层沉积技术领域；包括输送轨道、第一工艺腔和第二工艺腔，所述第一工艺腔和第二工艺腔之间通过过道腔连接，所述第一工艺腔上设置有第一进/出腔，所述输送轨道上设置有多个晶圆站；所述第一进/出腔、过道腔和第二进/出腔底部均设置有与之配合的输送结构；所述第一工艺腔和第二工艺腔上均设置有用于调整金属盒高度的升降结构，所述金属盒用于输送晶圆流动设置。本发明实现了批量连续卷对卷的生产，提高出货效率，工艺灵活有效，解决了原子层沉积批量生产的工艺整合的实际难题。 |
