一种用于晶圆的高效便利的自动装载机构
基本信息
| 申请号 | CN202021216609.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212010925U | 公开（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申请公布号 | CN212010925U | 申请公布日 | 2020-11-24 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 郑锦;薛传洲;倪明;李蕊;吴俊冉 | 申请（专利权）人 | 南京原磊纳米材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京专赢专利代理有限公司 | 代理人 | 南京原磊纳米材料有限公司 |
| 地址 | 211800江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢305 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型实施例涉及半导体技术领域，具体公开了一种用于晶圆的高效便利的自动装载机构，包括与真空设备开合式连接的真空封闭门；还包括设于真空设备上的晶圆托架、第一传动杆、第二传动杆、限位架、滑轨组、机械手和升降部件；所述晶圆托架的一侧与限位架的一端联动，所述晶圆托架的另一侧与第二传动杆的一端联动，所述第二传动杆的另一端与真空封闭门铰接，所述真空封闭门与第二传动杆的铰接连接处还与第一传动杆的一端铰接连接，所述第一传动杆的另一端与所述限位架的另一端铰接连接，所述限位架的另一端上下滑动设于所述滑轨组上。本实用新型实施例提高了晶圆传输效率，减少了人工操作对晶圆造成的损坏和对真空环境的污染。 |
