一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构
基本信息
| 申请号 | CN201922129724.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211258214U | 公开（公告）日 | 2020-08-14 |
| 申请公布号 | CN211258214U | 申请公布日 | 2020-08-14 |
| 分类号 | E05F15/53(2015.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 郑锦;吴俊冉;倪明;薛传洲 | 申请（专利权）人 | 南京原磊纳米材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京专赢专利代理有限公司 | 代理人 | 南京原磊纳米材料有限公司 |
| 地址 | 211800江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢305 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型具体是一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，属于开关领域，包括呈并排设置的供晶圆柜体和顶盖视窗，所述供晶圆柜体和所述顶盖视窗之间安装有气缸部件；进而，气缸部件可实现顶盖视窗开合，区别于传统手动操作，顶盖视窗的打开，关闭，压紧均利用气缸部件自动化完成，减少人工操作，提高效率并安装氮气弹簧作为保护减少安全隐患。 |
