一种原子层沉积设备及其制备电池催化剂的方法
基本信息
| 申请号 | CN201910140051.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109904473B | 公开（公告）日 | 2021-08-20 |
| 申请公布号 | CN109904473B | 申请公布日 | 2021-08-20 |
| 分类号 | H01M4/92;H01M8/1011;C23C16/455;C23C16/26;C23C16/06 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李若雅;郑锦;逯文冬;耿晨宇;黄洋;黄省三 | 申请（专利权）人 | 南京原磊纳米材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京华仲龙腾专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李静 |
| 地址 | 211800 江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢305 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及原子层沉积领域，具体是一种原子层沉积设备，包括等离子体发生器，所述等离子体发生器上端设有管道，等离子体发生器下端通过连接管道连接有反应腔，反应腔顶部设有支撑架，反应腔左侧安装有进源管道。本发明原子层沉积设备结构简单，易操作；同时利用本发明原子层沉积设备制备直接甲醇燃料电池阳极催化剂的方法，高效、易实现，制备出产品具有高比表面积、优异催化性能的优点。进而解决了直接用氧化石墨烯做载体，电池的电化学性能测试并不能达到理想效果的问题。 |
