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一种电加热密封结构

基本信息

申请号 CN202020397216.7 申请日 -
公开（公告）号 CN211267131U 公开（公告）日 2020-08-14
申请公布号 CN211267131U 申请公布日 2020-08-14
分类号 H05B3/54(2006.01)I;H05B3/04(2006.01)I 分类 -
发明人 郑锦 申请（专利权）人 南京原磊纳米材料有限公司
代理机构 北京专赢专利代理有限公司 代理人 南京原磊纳米材料有限公司
地址 211800江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢305
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于原子层沉积设备领域，具体是一种电加热密封结构，包括内部开设有内腔的接管，以及还包括贯穿在内腔内部的电加热丝；在所述接管一端连接有法兰Ⅰ，而法兰Ⅰ上通过固定件安装有法兰Ⅱ；其中，在法兰Ⅰ和法兰Ⅱ之间的所述电加热丝上套设有垫片Ⅰ和垫片Ⅱ；在远离所述法兰Ⅰ一侧的法兰Ⅱ上加装有螺母；在实际应用中，内腔是要保证电加热丝的真空度，接管一端焊接法兰Ⅰ上，法兰Ⅱ用固定件与法兰Ⅰ固定，中间用垫片Ⅰ密封，贯穿在内腔内部的电加热丝，和法兰Ⅱ中间用垫片Ⅱ密封，在下端用螺母拉紧，进而保证密封性；进而将电加热接头放在了腔体外面，脱离高温环境，解决了密封胶熔化导致电加热丝短路的问题。