一种兰姆波谐振器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202011112294.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112260658B | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN112260658B | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | H03H9/02;H03H9/25;H03H3/08 | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 李红浪;许欣 | 申请（专利权）人 | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 邓晔;张鑫 |
| 地址 | 510700 广东省广州市黄埔区开源大道136号D栋1004室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种兰姆波谐振器及其制造方法，其特征在于，该兰姆波谐振器包括：衬底，该衬底具有高声阻抗；压电层，该压电层上形成有电极和汇流条，以及金属层，所述金属层设置在所述压电层和所述衬底之间，并且相对于所述衬底具有低声阻抗，其中，在所述压电层的上表面形成有沿所述电极的长度方向延伸的槽。 |
