一种薄膜器件
基本信息
| 申请号 | CN202020392034.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212770483U | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN212770483U | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | C03C27/12(2006.01)I;B32B17/10(2006.01)I;C03C17/36(2006.01)I | 分类 | 玻璃；矿棉或渣棉; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 四川猛犸半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 方惠春 |
| 地址 | 644000四川省宜宾市临港经开区长江北路西段附三段17号企业服务中心731室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种薄膜器件，包括依次向上层叠的基板、膜层组件、顶层电介质膜层和保护膜层，膜层组件包括沿基板向上依次层叠的电介质膜层、银膜层和牺牲膜层，或电介质膜层、牺牲膜层和银膜层，膜层组件还包括锌锡氧化物膜层和AgTi膜层，锌锡氧化物膜层和AgTi膜层层叠在牺牲膜层上面；或锌锡氧化物膜层和AgTi膜层层叠在银膜层与电介质膜层之间；或锌锡氧化物膜层和AgTi膜层层叠在牺牲膜层上面，同时锌锡氧化物膜层和/或AgTi膜层还层叠在银膜层与电介质膜层之间。本实用新型可以提高膜系在高温热处理的稳定性，又可提高该薄膜器件的化学稳定性和改善其机械性能。 |
