晶片翻转转移装置

基本信息

申请号 CN201921448722.8 申请日 -
公开(公告)号 CN210763112U 公开(公告)日 2020-06-16
申请公布号 CN210763112U 申请公布日 2020-06-16
分类号 B65G47/91(2006.01)I;B65G47/248(2006.01)I 分类 -
发明人 黄建友;杨清明;刘青彦 申请(专利权)人 成都晶宝时频技术股份有限公司
代理机构 成都欣圣知识产权代理有限公司 代理人 成都晶宝时频技术股份有限公司
地址 611730四川省成都市高新区西部园区百叶路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种晶片翻转转移装置,涉及晶片加工领域。目前,人工将夹具盘内的晶片转移至物料盘内时,若操作不当会导致晶片散落,使晶片污染或受损。本实用新型的支架上滑动设有吸片机构和夹片机构,夹片机构上还设有伺服旋转机构,夹片机构将夹具盘和物料盘夹持运输,吸片机构将夹具盘上的上掩膜板吸取转移,夹片机构将夹具盘与物料盘夹住并在伺服旋转机构的作用下实现翻转,完成对晶片的翻转转移,采用机械设备代替人工避免晶片的污染或损坏。