一种晶片夹具及其清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN202011576376.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112547667A | 公开（公告）日 | 2021-03-26 |
| 申请公布号 | CN112547667A | 申请公布日 | 2021-03-26 |
| 分类号 | B08B3/12(2006.01)I;F26B5/00(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;F26B9/06(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 黄建友;刘青彦;杨清明 | 申请（专利权）人 | 成都晶宝时频技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 成都虹盛汇泉专利代理有限公司 | 代理人 | 周永宏 |
| 地址 | 610000四川省成都市高新区西部园区百叶路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶片夹具及清洗方法，包括如下步骤：第一步、硝酸溶液浸泡：将夹具放入浸泡池，倒入硝酸溶液进行浸泡；第二步、去离子水冲洗：将步骤S1中浸泡后的夹具上的硝酸溶液用去离子水冲洗；第三步、银铬剥离液浸泡：将步骤S2中冲洗后的夹具放入新的浸泡池，倒入银铬剥离液进行浸泡；第四步、去离子水冲洗：将步骤S3中浸泡后的夹具上的银铬剥离液冲洗掉；第五步、超声波清洗：步骤S4清洗后的夹具放入超声池内进行超声波清洗；第六步、脱水：将步骤S5中经过超声波清洗后的夹具用无水乙醇进行脱水处理，并进行冲洗300秒；第七步、烘烤：将步骤S6中脱水后的夹具放入80℃±10℃烘箱内烤30到60分钟，完成夹具清洗。 |
