一种针对长条形反射镜的镀膜工装以及安装方法
基本信息
| 申请号 | CN201910440408.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110218986B | 公开（公告）日 | 2021-03-19 |
| 申请公布号 | CN110218986B | 申请公布日 | 2021-03-19 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 莫海亮 | 申请（专利权）人 | 上海现代先进超精密制造中心有限公司 |
| 代理机构 | 上海申浩律师事务所 | 代理人 | 吕琳琳 |
| 地址 | 200433上海市杨浦区国定路335号2号楼2401室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种针对长条形反射镜的镀膜工装以及安装方法，包括带有安装定位孔的活动托板，与长条镜光学面直接接触，固定长条镜在活动托板卡槽内；固定托板，固定在镀膜机伞架上，活动托板固定在其卡槽内；安装用定位杆，在长条镜工装安装过程中，通过4根定位杆，将上下活动托板精准对齐，完成活动托板与长条镜光学面贴合安装操作；本发明的有益效果，因为使用定位杆类似安装导轨作用，基本消除了长条镜在工装安装过程中对光学面边角磕碰风险，同时可以极大减少工装设计需要预留的公差尺寸，这也就提升了通光口径的控制精度。 |
