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一种用于高次非球面检测的补偿器

基本信息

申请号 CN202111020463.0 申请日 -
公开（公告）号 CN113900166A 公开（公告）日 2022-01-07
申请公布号 CN113900166A 申请公布日 2022-01-07
分类号 G02B3/06（2006.01）I;G02B3/04（2006.01）I;G02B27/00（2006.01）I;G01M11/02（2006.01）I 分类 光学;
发明人 孟梦;蒋泉权;刘国淦 申请（专利权）人 上海现代先进超精密制造中心有限公司
代理机构 上海申浩律师事务所 代理人 李阳
地址 201209上海市浦东新区民风路396号4幢1层、3层301室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种用于高次非球面检测的补偿器，所述补偿器的主体为单个的透镜，所述透镜的侧面为圆柱面，所述透镜一侧的入光面为内凹的抛光高次非球面，该入光面采用标准非球面方程表述的c值略小于待测非球面表述的c值且入光面的非球面度小于待测非球面；所述抛光高次非球面的光轴呈旋转对称结构，所述透镜另一侧的出光面为与侧面垂直的抛光平面。本发明的有益效果是易于加工，与传统球面透镜组形式的补偿器相比，减少了补偿器所需透镜的数量，节约了成本，避免了透镜组复杂的机械装配过程，能够缩短加工工期。