TiN－TiAIN系列硬质纳米结构多层膜镀层
基本信息
| 申请号 | CN200410022552.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN1648286A | 公开（公告）日 | 2005-08-03 |
| 申请公布号 | CN1648286A | 申请公布日 | 2005-08-03 |
| 分类号 | C23C30/00;C23C28/00;C23C14/06;C23C16/34 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈维熹;强中黎;薛伟贤;钱积惠 | 申请（专利权）人 | 成都凯贝克贸易有限公司 |
| 代理机构 | 成都立信专利事务所有限公司 | 代理人 | 成都凯贝克纳米镀膜技术有限公司 |
| 地址 | 610041四川省成都市高新区高朋大道5号10室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明TiN－TiAlN系列硬质纳米结构多层膜镀层属于纳米新材料，将其镀制在材料表面用作表面改性。本发明利用物理气相沉积技术在材料表面交叉进行纳米尺寸的TiN膜和TiAlN膜的沉积，因纳米尺寸效应使镀层性能最佳化，可显著提高工具、模具、零部件等的表面性能。例如，镀层的维氏硬度HV要显著高于TiN和TiAlN的值，HV≥3200。技术要点：1、利用特殊的工艺程序可保证各纳米膜间有良好的结合强度。2、在镀膜炉中不同区域内产生不同金属离子，实现同炉不同材料的镀膜。本发明可以显著提高材料的耐磨、硬度、耐热和抗腐蚀等性能，提高其使用性能、延长使用寿命等。 |
