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平板型太阳能吸热条带镀膜装置

基本信息

申请号	CN201420025550.4	申请日	-
公开（公告）号	CN203653685U	公开（公告）日	2014-06-18
申请公布号	CN203653685U	申请公布日	2014-06-18
分类号	C23C14/35(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	崔世娟	申请（专利权）人	宁夏天润新能源设备股份有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	253000 山东省德州市德城区东风东路98号1号楼1单元102号
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及平板型太阳能吸热条带镀膜装置，其特征在于镀膜室内设置有工件架和工件卷筒，工件卷筒的形状设置成六棱柱形，工件卷筒设置在上转盘与下转盘之间，工件卷筒的上端通过连接轴与上转盘连接，工件卷筒的下端通过连接轴与下转盘连接，工件卷筒可以绕工件卷筒两端的连接轴旋转，上转盘与下转盘之间通过转盘联接杆连接在一起，下转盘上中间设置有一个十字形的屏蔽板和四个溅射靶，相邻的溅射靶通过十字形的屏蔽板分隔开，下转盘的下面设置有公转盘，在镀膜室的背面设置有真空排气孔，镀膜室内设置真空，镀膜室的一侧还设置有前圆弧门。本实用新型具有以下优点：1、为间歇式镀膜，设备简单易操作；2、设备价低；3、也可用于中高温集热管镀膜。