半导体构件
基本信息
申请号 | CN201822021968.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN208889687U | 公开(公告)日 | 2019-05-21 |
申请公布号 | CN208889687U | 申请公布日 | 2019-05-21 |
分类号 | H01L33/02;H01L33/12;H01L33/00 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 陈辰;宋杰;崔周源 | 申请(专利权)人 | 西安赛富乐斯半导体科技有限公司 |
代理机构 | 北京金讯知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 黄剑飞 |
地址 | 277300 山东省枣庄市高新区复元三路智能制造小镇五号楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本公开涉及一种半导体构件,其包括:含有半极性面的PSS衬底;第一GaN半导体层,外延生长在PSS衬底的半极性面,具有第一厚度,所述第一GaN半导体层中具有在其穿透位错处通过刻蚀而形成的空腔,并且所述空腔的深度小于第一厚度;以及第二GaN半导体层,外延生长在第一GaN半导体层表面上,具有第二厚度,所述第二GaN半导体层封闭第一GaN半导体层内的刻蚀空腔。 |
