半导体构件

基本信息

申请号 CN201822021968.9 申请日 -
公开(公告)号 CN208889687U 公开(公告)日 2019-05-21
申请公布号 CN208889687U 申请公布日 2019-05-21
分类号 H01L33/02;H01L33/12;H01L33/00 分类 基本电气元件;
发明人 陈辰;宋杰;崔周源 申请(专利权)人 西安赛富乐斯半导体科技有限公司
代理机构 北京金讯知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 黄剑飞
地址 277300 山东省枣庄市高新区复元三路智能制造小镇五号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本公开涉及一种半导体构件,其包括:含有半极性面的PSS衬底;第一GaN半导体层,外延生长在PSS衬底的半极性面,具有第一厚度,所述第一GaN半导体层中具有在其穿透位错处通过刻蚀而形成的空腔,并且所述空腔的深度小于第一厚度;以及第二GaN半导体层,外延生长在第一GaN半导体层表面上,具有第二厚度,所述第二GaN半导体层封闭第一GaN半导体层内的刻蚀空腔。