一种单晶炉用导气筒及单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN202122613311.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216074088U | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN216074088U | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 马新成;秦乐;蔡旭;李晶;刘文涛;丁天璞 | 申请（专利权）人 | 阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 汪莉萍 |
| 地址 | 014000内蒙古自治区包头市青山区110国道666公里处包头装备制造产业园区管委会B座502室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体公开了一种单晶炉用导气筒及单晶炉，该单晶炉用导气筒包括导气筒本体，导气筒本体包括第二通道、设置于第二通道两端的第一通道以及连接于第一通道的第三通道，第一通道、第三通道均与第二通道相连通且同轴设置；第一通道的内径沿靠近第二通道的方向逐渐减小，第一通道的内壁与第一通道的中心线之间的夹角为30度‑70度；第二通道的内径与第一通道中的最小的内径相同，第三通道的内径与第一通道中的最大的内径相同，任一第三通道能与单晶炉内部连通。上述设置可以延长对单晶炉用导气筒本体内部进行清理的周期，能够实现较长周期的工作。 |
