在集成电路电子元器件测试中针对测试系统的监控方法和监控系统

基本信息

申请号 CN201810732830.1 申请日 -
公开(公告)号 CN109100671B 公开(公告)日 2021-06-22
申请公布号 CN109100671B 申请公布日 2021-06-22
分类号 G01R35/00 分类 测量;测试;
发明人 周伟;尹诗龙;牛前犇;姚健;李晨阳 申请(专利权)人 北京华峰测控技术股份有限公司
代理机构 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 韩登营;张焕亮
地址 100070 北京市丰台区海鹰路1号2号楼7层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种在集成电路电子元器件测试中针对测试系统的监控方法及监控系统,包括步骤:A、在集成电路电子元器件量产测试前,对测试系统进行初始化处理;B、定义所述测试系统的故障类型及故障等级信息,进入对集成电路电子元器件的量产测试阶段;C、基于所定义的所述故障类型及故障等级信息,实时检测所述测试系统的工作状态以进行故障类型判别,若无故障则继续测试直至测试结束,否则进入步骤D;D、判断所述故障等级是否为致命故障,若是则停止测试,否则返回步骤C。由上,在量产测试过程中对测试系统进行实时监控,及时地监控到故障的发生,并停止测试,从而避免在故障状态下继续生产,最大程度减少被测IC器件的损坏,同时监控过程不影响测试效率。