一种高复合效率的LED外延结构

基本信息

申请号 CN201510258289.1 申请日 -
公开(公告)号 CN106299056B 公开(公告)日 2018-08-03
申请公布号 CN106299056B 申请公布日 2018-08-03
分类号 H01L33/06;H01L33/32 分类 基本电气元件;
发明人 田宇;徐晶;郑建钦;曹强;杜小青;吴梅梅;钱凯 申请(专利权)人 南通同方半导体有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 226015 江苏省南通市经济技术开发区东方大道499号
法律状态 -

摘要

摘要 一种高复合效率的LED外延结构,涉及发光二极管技术领域。本发明从下至上依次包括图形化衬底、AlN缓冲层、U型GaN层、N型GaN层、有源区、电子阻挡层和P型GaN层。其结构特点是,所述有源区从下至上包括阱层和复合垒层,复合垒层和阱层交替生长。所述复合垒层包括Si掺杂垒层和Si&Mg&Si掺杂垒层。本发明用在复合垒层中再掺杂Si&CP2Mg垒层,通过改变垒层Si&CP2Mg的掺杂浓度降低复合垒层的粗糙度并将复合垒层能级变得平滑,使得空穴传送更加容易,从而提高辐射复合几率,降低极化效应,增强LED出光效率。